Résistif
Un capteur résistif est un appareil qui convertit les grandeurs physiques mesurées telles que le déplacement, la déformation, la force, l'accélération, l'humidité, la température, etc. en valeurs de résistance. Il existe principalement des jauges de contrainte résistives, de type piézorésistif, à résistance thermique, thermiques, sensibles aux gaz, sensibles à l'humidité et autres dispositifs de détection résistifs.
Jauge de contrainte résistive
Les jauges de contrainte résistives du capteur ont un effet de contrainte métallique, c'est-à-dire qu'une déformation mécanique se produit sous l'action d'une force externe, de sorte que la valeur de la résistance change en conséquence. Il existe deux principaux types de jauges de contrainte à résistance : en métal et à semi-conducteur, et les jauges de contrainte en métal sont divisées en type de fil, type de feuille et type de couche mince. Les jauges de contrainte à semi-conducteurs présentent les avantages d'une sensibilité élevée (généralement des dizaines de fois supérieure à celle des types à fil et à feuille) et d'un faible effet transversal.
Piézorésistif
Les capteurs piézorésistifs sont des dispositifs réalisés par résistance de diffusion sur le substrat de matériaux semi-conducteurs selon l'effet piézorésistif des matériaux semi-conducteurs. Le substrat peut être utilisé directement comme élément de détection de mesure, et la résistance de diffusion est connectée au substrat sous la forme d'un pont. Lorsque le substrat est déformé par une force externe, les valeurs de résistance changent et le pont produit une sortie asymétrique correspondante.
Les matériaux de substrat (ou diaphragme) utilisés comme capteurs piézorésistifs sont principalement des plaquettes de silicium et des plaquettes de germanium, et les capteurs piézorésistifs en silicium constitués de plaquettes de silicium en tant que matériaux sensibles ont attiré de plus en plus d'attention, en particulier pour les capteurs piézorésistifs à semi-conducteurs qui mesurent la pression et la vitesse.
RDT
La mesure de la température par résistance est basée sur le fait que la résistance d'un conducteur métallique augmente avec l'augmentation de la température. La résistance thermique est principalement constituée de matériaux métalliques purs, le platine et le cuivre étant les plus largement utilisés, et des matériaux tels que le nickel, le manganèse et le rhodium ont commencé à être utilisés pour fabriquer des résistances thermiques.
Les capteurs RTD mesurent la température et les paramètres liés à la température en utilisant le fait que la valeur de la résistance change avec la température. Ce capteur est plus adapté aux occasions où une précision de détection de la température est requise. Les matériaux RTD les plus étendus sont le platine, le cuivre, le nickel, etc., qui présentent les caractéristiques d'un coefficient de résistance à la température élevé, d'une bonne linéarité, de performances stables, d'une large plage de température et d'un traitement facile. Il est utilisé pour mesurer la température dans la plage de -200 degrés ~+500 degrés.